在未來的數(shù)年，由于材料科學(xué)、空間技術(shù)、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境化工等學(xué)科的發(fā)展，X射線熒光分析技術(shù)將更加深入和廣泛。隨著新儀器、新技術(shù)的不斷出現(xiàn)，XRF分析技術(shù)將會體現(xiàn)在以下幾方面的發(fā)展：

為了提高工作效率，降低分析成本，新一代X射線熒光光譜儀正朝著多功能方向發(fā)展。不但能對常規(guī)大面積樣品進行高靈敏度的元素分析，還可對微小區(qū)域分析、區(qū)域元素含量分布成像、某些化學(xué)成分的物相分析。如用于分析元素價態(tài)及配位狀況的X射線吸收光譜分析；可彌補掃描電子顯微鏡和能譜分析不足的X射線熒光微區(qū)面分布元素成像分析等。

隨著現(xiàn)代電子技術(shù)的發(fā)展，儀器功能那個模塊有高度集成化的趨勢，且采用小功率X光管，減少水冷系統(tǒng)，從而大大減少儀器、由于現(xiàn)場分析和高溫、高壓、強磁場等環(huán)境下專用分析的需要，小型便攜式和專用型X射線熒光光譜儀更成為研究熱點。